3月25日，盛劍科技國產半導體制程附屬設備及關鍵零部件項目（一期）正式投產。

此前，為進一步深化在半導體產業(yè)鏈的布局，盛劍科技與嘉定工業(yè)區(qū)管理委員會簽訂投資協(xié)議。項目用地約27728.6平方米，計劃總投資約6億元，致力于打造一個集研發(fā)、制造、銷售和維保服務為一體的國產先進半導體附屬設備及關鍵零部件平臺。

上海盛劍科技股份有限公司副總經理聶磊介紹：“盛劍科技國產半導體制程附屬設備及關鍵零部件項目是我們在半導體產業(yè)鏈的延伸布局，有助于提升國產半導體制程附屬設備及關鍵零部件的生產能力、運維能力和產業(yè)競爭力。”

據介紹，該項目主要生產工藝廢氣處理設備、真空設備以及溫控設備等。這些設備在半導體制程中發(fā)揮著關鍵作用，能夠輔助控制半導體制程設備的反應腔，使其滿足刻蝕、離子注入、擴散及薄膜沉積等工藝的環(huán)境要求。

聶磊表示：“目前，我們圍繞半導體先進制程前瞻工藝，持續(xù)開展技術研發(fā)攻關，在真空、溫控，包括新型廢氣處理的關鍵技術方面實現多項突破，未來將有更多迭代產品在新工廠下線投產。”

此外，該項目在設計之初就將數字化、智能化和綠色化寫進了工廠的“基因”里，目標打造規(guī)模化的綠色智慧工廠。聶磊表示：“在整個生產過程中，我們盡可能提升自動化水平。例如，在屋頂安裝光伏系統(tǒng)以實現低碳管理。后續(xù)還將引入更多自動化測試線，深度融合數字化、智能化和綠色化。”

當前，嘉定區(qū)正大力支持企業(yè)智能化和綠色化發(fā)展。一方面，修訂出臺區(qū)級技改政策，降低項目門檻，提高獎勵上限，支持企業(yè)進行智能化改造和數字化轉型，計劃年內培育20家以上智能工廠；另一方面，鼓勵企業(yè)推廣先進綠色技術，開展節(jié)能技術改造和綠色工廠建設，推動循環(huán)經濟發(fā)展。

區(qū)委常委、常務副區(qū)長陸祖芳出席活動。