9月18日，光刻機(jī)板塊大漲，波長光電等漲停。近日，工信部發(fā)布《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》，集成電路設(shè)備方面出現(xiàn)了氟化氬光刻機(jī)和氟化氪光刻機(jī)，這兩者均屬于DUV光刻機(jī)。中國首臺（套）重大技術(shù)裝備是指國內(nèi)實(shí)現(xiàn)重大技術(shù)突破、擁有知識產(chǎn)權(quán)、尚未取得明顯市場業(yè)績的裝備產(chǎn)品。數(shù)據(jù)顯示，目前光刻機(jī)國產(chǎn)化率僅為2.5%，整機(jī)技術(shù)與海外差距較大。機(jī)構(gòu)認(rèn)為國產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù)亦在持續(xù)突破，看好國內(nèi)晶圓廠的投資增長和國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化機(jī)遇。點(diǎn)擊視頻，一看究竟。